公共平台
智能微纳公共创新中心

北京航空航天大学智能微纳公共创新中心于2018年底启动论证,2019年5月校党委常委会批准建设方案后正式立项。在学校领导的关注和支持下,相关学院及部门共同努力,中心各项建设工作高效有序推进,并于2020年10月起面向全校开放试运行。

中心占地3500平米,是由我校16个院级单位共同参建的校级公共实验平台,聚焦微纳尺度材料分析、器件加工、封装及测试的科研服务及人才培养。中心承担的任务包括:一、支撑我校空天信医等多学科交叉融合。引领医工交叉、自旋电子、微纳光学、下一代通信等学术前沿,打造数款“北航芯”;二、促进校企合作,推动产教融合创新。助力我国在星载机载芯片、智能物联网芯片等核心集成电路产业及高精尖人才培养方面取得突破;三、支持国产关键设备研发孵化,搭建中试线开展关键装备的开发验证。

中心现有设备70余台套,总价值逾1.3亿,形成了完备的微纳工艺线及特色测试线,并且重点布局具有自主知识产权的国产关键装备,国产设备使用率接近50%。

中心包括1个通用平台和6个特色平台:通用平台着力提升共性微纳技术,涵盖微纳加工及测试全流程;特色平台围绕北航“空天信医”特色研究方向及重大任务,跨学科合作,多学院共建。中心以通用平台为支撑,各特色平台协同互补,功能逐级拓展,形成涵盖材料-器件-系统-仪器的全链条教学与科研体系。

通用平台情况

通用平台包括综合测试区、光学测试区、图形化工艺区、化学工艺区、刻蚀工艺区、材料生长区、材料表征区七大区域。

综合测试区面积150平方米,面向传感、存储、计算等芯片的封装测试,配备有9T超导磁体,低温探针台、综合物理特性测量系统、半导体特性测量、晶圆级划片机、点焊机等设备,可满足信息、航空航天、理科、医工等学科的多维度测试需求。

光学测试区面积80平方米,面向材料及芯片的光学、光电、光热、光磁等测试,配备有拉曼光谱系统、飞秒激光系统、太赫兹系统、磁光克尔成像系统、激光共聚焦显微镜、红外傅里叶光谱仪等设备,可满足物理、化学、材料、生物及医工等领域的光学相关测试需求。

图形化工艺区面积150平方米,面向芯片微纳结构图形化,配备有高精度电子束曝光系统、紫外光刻机、激光直写机、热探针纳米直写机、纳米压印系统、晶圆喷胶机等设备,可满足最小尺寸10纳米,最大8英寸晶圆的图形加工需求。

化学工艺区面积60平方米,面向芯片制程中的清洗及湿法工艺,配备有临界点干燥仪、二维材料制备手套箱、清洗台、通风橱、晶片甩干机等设备,可满足晶片清洗、湿法图形加工、二维材料制备等需求。

刻蚀工艺区面积90平方米,面向芯片制程中的物理和化学干法刻蚀工艺,配备有反应离子金属刻蚀机及介质刻蚀机、电感耦合等离子体刻蚀机等高精度刻蚀设备,可满足金属材料、介质材料、硅基材料、深硅刻蚀等各类刻蚀需求。

材料生长区面积90平方米,面向芯片制程中的薄膜材料生长工艺,配备有电子束蒸发镀膜系统、物理气相沉积系统、化学气相沉积系统以及原子层沉积系统,可满足金属材料、高介电材料、磁性多层膜、氧化物多层膜等材料的高精度可控生长需求。

材料表征区面积180平方米,面向芯片材料的微观形貌和物理特性表征,平台配备X射线衍射仪、扫描电子显微镜、聚焦离子束显微镜、原子力显微镜等设备,可满足材料纳米尺度下的结构、形貌、成分表征需求。

特色平台情况

(一)低维材料微纳器件及光电磁精密测量特色平台

首席科学家:蒋成保;主任:宫勇吉

该平台由材料科学与工程学院牵头,物理学院联合共建。支撑材料科学与工程、凝聚态物理、集成电路、光学工程等学科建设。面向航空、航天及航海等领域的下一代高可靠信息材料、量子计算新材料开发,重点开展先进材料及其基本特性研究。

(二)微纳电磁传感与电磁结构研究特色平台

首席科学家:苏东林;主任:谢树果

该平台由前沿科学技术创新研究院牵头,电子信息工程学院联合共建。支撑电子科学与技术、信息与通讯工程、集成电路科学与工程等学科建设。面向高灵敏超宽带电磁传感器及芯片、新型微纳电磁材料及器件、电磁兼容微纳技术、超强太赫兹辐射源及其应用、太赫兹高频测量及智能感知技术等特色器件研发与应用。

(三)空天信自旋芯片特色平台

首席科学家:赵巍胜;主任:林晓阳

该平台由集成电路科学与工程学院牵头,计算机学院及大数据科学与脑机智能高精尖中心联合共建。支撑集成电路科学与工程、电子科学与技术、计算机科学与技术等学科建设。面向高可靠机载芯片、高性能星载芯片、超低功耗人工智能芯片等特色器件和电路开发。

(四)智能微纳结构与微系统制造特色平台

首席科学家:丁希仑;主任:陈华伟

该平台由机械工程及自动化学院牵头,化学学院、航空科学与工程学院联合共建。支撑机械工程、航空、宇航、力学、化学、控制科学与技术等学科建设。面向航空航天、兵器等应用的智能微纳系统结构制造技术,开展仪器和系统层次的研究。

(五)超微型能源与动力系统特色平台

首席科学家:丁水汀;主任:李海旺

该平台由航空发动机研究院牵头,能源与动力工程学院、航空发动机学院联合共建。支撑航空宇航科学与技术、航空推进理论与工程等学科建设。面向超微型航空推进理论、未来超微型飞行器军事需求和未来航空发动机智能化发展,开展仪器和系统层次的研究。

(六)微纳光子与量子调控检测特色平台

首席科学家:徐立军;主任:李建利

该平台由仪器科学与光电工程学院牵头,电子信息工程学院、医学科学与工程学院联合共建。支撑仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程等学科建设,面向航空航天、制导、监测、高性能声光器件领域,建设首个北航特色液晶微结构平台,开发脑磁检测精密磁测量传感芯片

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